搜牌网-线上展会(图)-电子元器件-电子

行业概况

***发展扩散炉、等离子增强化学气相沉积设备（PECVD）等关键设备，电子行业，突破单机自动化及生产线设备之间物流传输自动化技术，实现整线自动化集成。

***突破自动图像对准技术、柔性传输技术、印刷技术、高速对准技术、测试分选技术、智能化控制及系统集成技术，进一步提高电池片电极印刷、烘干、测试分选速度，实现产能达到1440片/小时以上、碎片率低于0.5%的全自动太阳能印刷线设备产业化。

行业概况

光刻机：基于国产核心部件完成90纳米光刻机的产品定型，电子，形成小批量生产能力，实现产品销售。

刻蚀机：使国产65纳米-45纳米刻蚀机进入主流生产线，实现刻蚀机的产业化；完成45纳米以下栅刻蚀和介质刻蚀产品研制，电子元器件，逐步完成关键技术攻关，实现设备生产线验证及商业设备定型设计。通过纳米刻蚀机研制和工艺开发掌握高密度等离子刻蚀机制造的核心技术。

太阳能电池的生产设备

太阳能级多晶硅及单晶硅生长、切割、清洗设备产业化

多晶硅生长设备：突破热场分控技术、定向凝固技术，电子技术，实现投料量吨级及以上产品硅铸锭炉的研发和产业化，并实现成品率达到75%以上。

单晶硅生长设备：突破单晶生长全自动控制技术，实现8英寸（156 毫米×156 毫米硅片）以上尺寸全自动单晶炉产业化。

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